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本發(fā)明公開了一種石墨烯納晶碳膜接觸電特性的測(cè)試裝置及方法，其中，所述裝置包括層疊設(shè)置的金屬底座、P型硅基片、石墨烯納晶碳膜，以及與所述石墨烯納晶碳膜可接觸的導(dǎo)電探針，所述金屬底座和所述石墨烯納晶碳膜通過導(dǎo)電銀漿電連接，所述導(dǎo)電探針與金屬底座電連接。本發(fā)明基于導(dǎo)電探針與石墨烯納晶碳膜在不同的接觸階段，采用定壓模式和變壓模式對(duì)石墨烯納晶碳膜分別進(jìn)行接觸電特性測(cè)試，測(cè)得相應(yīng)的電特性數(shù)據(jù)。通過對(duì)石墨烯納晶碳膜接觸電特性進(jìn)行測(cè)試發(fā)現(xiàn)，石墨烯納晶碳膜的平均納晶尺寸越大呈現(xiàn)出更好的導(dǎo)電性能，對(duì)石墨烯納晶碳膜在微納器件的表面應(yīng)用具有重要意義。

測(cè)量實(shí)驗(yàn)>測(cè)試設(shè)備>石墨烯納米碳膜接觸電學(xué)特性測(cè)試裝置