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本發(fā)明公開(kāi)一種柔性溫度傳感器及其制備方法。所述柔性溫度傳感器包括：柔性襯底、位于所述柔性襯底上的電極，所述電極包括源極、漏極和柵極，所述源極和漏極構(gòu)成叉指型電極，還包括復(fù)合薄膜，所述復(fù)合薄膜由半導(dǎo)體層和柵介電層構(gòu)成，所述半導(dǎo)體層覆蓋于所述叉指型電極的溝道上，所述柵介電層覆蓋于所述半導(dǎo)體層與所述柵極上，所述半導(dǎo)體層與所述柵介電層形成互滲結(jié)構(gòu)。本發(fā)明半導(dǎo)體層與柵介電層形成互滲結(jié)構(gòu)，從而形成柔性的復(fù)合薄膜，實(shí)現(xiàn)全柔性的傳感器結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體層與柵介電層部分形成的互滲結(jié)構(gòu)，將大大提高兩者的接觸面積，從而增加?xùn)沤殡妼拥钠桨咫娙荽笮?，利用平板電容隨溫度變化并結(jié)合晶體管放大作用，最終實(shí)現(xiàn)高靈敏度的溫度探測(cè)。

測(cè)量實(shí)驗(yàn)>傳感器>柔性溫度傳感器