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本實用新型公開了一種用于微陣列結(jié)構(gòu)加工的微型磨頭的加工裝置。一種用于微陣列結(jié)構(gòu)加工的微型磨頭的加工裝置，包括具有主軸的加工機床、工作臺、設(shè)于主軸的圓柱形銑磨頭、用于將圓柱形銑磨頭修整為圓錐形銑磨頭的導電修整輪、用于驅(qū)動導電修整輪轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置、與圓柱形銑磨頭及導電修整輪均電連接的脈沖電源。微型磨頭的加工方法，利用上述微型磨頭的加工裝置對工件加工，圓柱形銑磨頭與導電修整輪均開始轉(zhuǎn)動；脈沖電源放電，圓柱形銑磨頭按預設(shè)的修整軌跡與導電修整輪的側(cè)表面接觸；導電修整輪將圓柱形銑磨頭修整為圓錐形銑磨頭。微型磨頭的微陣列加工方法：圓錐形銑磨頭按預設(shè)的加工軌跡在工件表面加工出微溝槽或微錐塔陣列結(jié)構(gòu)。