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本發(fā)明提供一種微納結(jié)構(gòu)加工機(jī)床，包括：可沿機(jī)床X軸方向移動的刀座，刀座上設(shè)有軸線垂直機(jī)床X軸方向的轉(zhuǎn)動軸，轉(zhuǎn)動軸端部裝設(shè)有刀具；與刀座相對設(shè)置且可沿機(jī)床Z軸方向移動的工件架；固定于工件架上的振動裝置，振動裝置包括基臺、第一柔性振動體、第二柔性振動體、工件平臺和驅(qū)動第一柔性振動體和第二柔性振動體振動的振動部，第一柔性振動體連接基臺和工件平臺且振動傳感方向?yàn)闄C(jī)床X軸方向，第二柔性振動體連接基臺和工件平臺且振動傳感方向?yàn)闄C(jī)床Z軸方向，第一柔性振動體和第二柔性振動體分別位于工件平臺相鄰兩側(cè)，工件平臺未連接有第一柔性振動體和第二柔性振動體的一側(cè)與刀具相對設(shè)置。本發(fā)明還提供兩種微納結(jié)構(gòu)加工方法。

機(jī)械設(shè)備>機(jī)床>微納結(jié)構(gòu)工件加工機(jī)床