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本發(fā)明揭示了一種薄片隊(duì)列微電極微細(xì)電火花加工方法及裝置，薄片隊(duì)列微電極包括多個依次隊(duì)列排列的薄片微電極，在集膚效應(yīng)的影響下，薄片微電極的加工端面被損耗為外凸弧形；薄片隊(duì)列微電極微細(xì)電火花加工方法包括：通過薄片隊(duì)列微電極上的薄片微電極依次對工件上與薄片微電極一一相應(yīng)的位置進(jìn)行微細(xì)電火花加工，在加工面上形成擬合表面。其中薄片隊(duì)列微電極微細(xì)電火花加工方法中充分利用在常規(guī)薄片微電極的加工端面的圓角損耗特點(diǎn)，用以有效消除三維微結(jié)構(gòu)表面的臺階效應(yīng)，從而提高加工后擬合面的精度。消除三維微結(jié)構(gòu)的臺階效應(yīng)和平面特征擬合表面的圓角放電痕。

方法過程>加工方法>加工方法; 生物(體)>植物組織>片狀陣列微電極電火花