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本發(fā)明公開了基于微全息陣列的波前傳感器、波前探測方法及系統(tǒng)，其中，所述基于微全息陣列的波前探測方法通過創(chuàng)建同時具有微透鏡陣列成像和雙螺旋點擴散函數(shù)功能的微全息陣列；待測波前經過所述微全息陣列在其后焦面上得到雙螺旋點陣圖；根據所述雙螺旋點陣圖獲得波前斜率值，對所述波前斜率值進行波前重構，得到待測的波前信息，通過將待測波前經過微全息陣列后，在其后焦面上得到雙螺旋形式的點陣圖，當微全息陣列后焦面的像點存在離焦時，雙螺旋點會按一定規(guī)律旋轉而不會想高斯點一樣明顯擴大，因此能抑制波前離焦誤差對于重構精度的影響，當樣品發(fā)生軸向位移時依然能夠得到高的探測精度，在保證探測精度的前提下提高了傳感器軸向的探測范圍。

測量實驗>檢測方法>波前檢測方法; 計算控制>陣列>微全息陣列