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本發(fā)明公開了一種用于光柵制作的硅基微結(jié)構(gòu)金屬填充方法，包括：對硅基微結(jié)構(gòu)進行表面改性處理，覆蓋二氧化硅薄膜；配置濃度為1％?20％的初級浸潤溶液；將初級浸潤溶液滴加到硅基微結(jié)構(gòu)表面，待溶劑揮發(fā)、浸潤材料附著在硅基微結(jié)構(gòu)表面及內(nèi)壁后，重復滴加；配制飽和浸潤溶液，將硅基微結(jié)構(gòu)放置于真空爐并倒入飽和浸潤溶液至沒過其表面，取出后置于超聲機中振蕩；將硅基微結(jié)構(gòu)背面及上表面殘留的浸潤材料直接擦除；在真空條件下，硅基微結(jié)構(gòu)浸入熔化的X射線強吸收重金屬中，加壓使得重金屬進入硅基微結(jié)構(gòu)內(nèi)部。本發(fā)明工藝步驟簡單、制作的硅基金屬微結(jié)構(gòu)金屬填充率高、均勻性好、適用于任意面積的硅基微結(jié)構(gòu)金屬填充。

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